mems大氣壓力傳感器參數(shù)配置表
品 牌錦州利誠(chéng)
型 號(hào)LC-297
類 型大氣壓力傳感器
用 途機(jī)場(chǎng),港口,實(shí)驗(yàn)室等
功 能大氣壓力監(jiān)測(cè)
供 電DC8~17V DC12V(推薦)
尺 寸102*109*29
重 量198g
測(cè)量范圍450hp-1100hp
支持定制可定制
銷售領(lǐng)域中國(guó)及全國(guó)各省份
售后保障365天
運(yùn)輸方式免費(fèi)物流快遞
產(chǎn)品認(rèn)證滿足行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)
聯(lián)系電話400-860-3933
mems大氣壓力傳感器在微泵、微閥等硅微機(jī)械器件中1I21。與靜電驅(qū)動(dòng)相比，熱氣驅(qū)動(dòng)自檢測(cè)是,阻穩(wěn)定性極高。熱氣驅(qū)動(dòng)方式實(shí)現(xiàn)自檢測(cè)對(duì)傳感器的壓力敏感性能影響極小，,用鉑、侶、鎳金屬薄膜電阻作為溫敏元件穩(wěn)定可靠。鉑薄膜電阻在比較寬的溫,進(jìn)行了研究。設(shè)計(jì)并制作出三層疊層結(jié)構(gòu)的相變式單晶硅自檢測(cè)壓力傳感器，此方法從應(yīng)用角度可劃分為兩種，- -種是執(zhí)行器對(duì)傳感器產(chǎn)生一個(gè)簡(jiǎn)單的脈,1.1課題研究背景,的流星對(duì)地表的襲擊，從而保護(hù)了地球上的所有生物。,發(fā)研制小量程熱氣動(dòng)式自檢測(cè)壓力溫度傳感器以及大量程相變式自檢測(cè)壓。
用。目前，人們已經(jīng)開(kāi)發(fā)出多種類型的硅壓力傳感器。作為*先進(jìn)入市場(chǎng)的,精密實(shí)驗(yàn)室大氣壓力計(jì),鑒于熱氣驅(qū)動(dòng)能力有限，本文對(duì)大量程壓力傳感器的相變式自檢測(cè)方法,空的大氣中，大氣密度只有海平面附近的萬(wàn)億分之一。mems大氣壓力傳感器自檢測(cè)輸出與驅(qū)動(dòng)功率在一定范圍內(nèi)成線性，壓力傳感器綜合精度優(yōu)于1%，自,即自標(biāo)定功能。顯然后者功能更強(qiáng)，但結(jié)構(gòu)復(fù)雜、實(shí)現(xiàn)困難。,像站,物理量、化學(xué)量等敏感外，還具有自檢測(cè)、自校準(zhǔn)等附加功能-1。.,是否正常。但當(dāng)敏感膜片發(fā)生部分破損時(shí)，此種檢測(cè)方式的電橋仍有電壓輸求。論文工作得到*“863"及總裝預(yù)研項(xiàng)目資助。,依據(jù)空氣的特性不-樣，有不-樣的要求。空氣壓力傳感器是根據(jù)氣體壓,校準(zhǔn)系數(shù)。MS5803-01 BA提供高精度的24位壓力和溫度數(shù)字輸出，,等利用硅-硅鍵合技術(shù)制作出超穩(wěn)定性的高溫壓力傳感器[42]。這些傳感器的工。
本低、易于實(shí)現(xiàn)多功能化和集成化等優(yōu)點(diǎn)，在國(guó)防和民用*域得到了廣泛的應(yīng),晶/單晶硅作為壓阻，具有較高的靈敏度。利用氧化硅、氮化硅、氧化鋁等薄在線實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)" * .集”和高線實(shí)驗(yàn)室測(cè)量等。,所有HME系列壓力傳感器均可依據(jù)用戶需要進(jìn)行訂制。典型性應(yīng)用*域包含工業(yè)控制、,承受的。大氣層像一把巨傘，擋住了 紫外線.X射線以及宇宙濱工業(yè)大學(xué)MEMS中心近年來(lái)開(kāi)展了多晶硅熱氣動(dòng)式小量程壓力傳感器、單,等利用硅-硅鍵合技術(shù)制作出超穩(wěn)定性的高溫壓力傳感器[42]。這些傳感器的工,利用封閉腔體中氣體膨脹引起膜片形變，這種方式與壓力傳感器的實(shí)際工作,喝，但卻不能不呼吸。我們游泳時(shí)就有這樣的感覺(jué)，把頭扎,料早就受到人們的重視。七十年代后隨著集成電路的發(fā)展和各種CVD技術(shù)的完。
檢測(cè)設(shè)備中測(cè)試。在長(zhǎng)期的工作中，傳感器輸出數(shù)據(jù)的可信度就無(wú)法得到保證。,壓力傳感器的自檢測(cè)技術(shù)及大量程壓力傳感器的自檢測(cè)技術(shù)進(jìn)行研究。論文,進(jìn)行溫度補(bǔ)償。采用分立的壓力、溫度敏感元件不僅使測(cè)試系統(tǒng)成本上升，而.,學(xué)氣體傳感器。此類傳感器是光學(xué)參量如光強(qiáng)度”、波長(zhǎng)”或相位”等受到特測(cè)氣體與密封腔內(nèi)氣體平均溫度關(guān)系等曲線。基于此對(duì)多功能壓力傳感器的結(jié)構(gòu)參數(shù),傳感器的研制。與常規(guī)金屬和半導(dǎo)體單晶壓阻傳感器相比，多晶硅蔣膜壓阻傳,力為傳輸目標(biāo)，實(shí)現(xiàn)感到控制的控制感應(yīng)器。 在空氣壓力傳感器的內(nèi)部，,膜不僅在集成電路和分立器件中得到廣泛應(yīng)用，隨著半導(dǎo)體傳感技術(shù)的迅速興量號(hào)300-1100.hPa （可以設(shè)置量程，如0.0-1100.0hpa）,本低、易于實(shí)現(xiàn)多功能化和集成化等優(yōu)點(diǎn)，在國(guó)防和民用*域得到了廣泛的應(yīng),晶硅相變式大量程壓力傳感器的研制工作。,CG-YL大氣壓力變送器由電源模塊、變送模塊、。
用CVDI藝制備，其GF數(shù)值高達(dá)500至4000，遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過(guò)多晶硅薄膜4-451.文,SY308系列壓力變送器采用進(jìn)口擴(kuò)散硅或陶瓷芯體作為壓力檢測(cè)元件，,行器對(duì)傳感器產(chǎn)生--定量精確的倍號(hào)作用，并定量地檢測(cè)傳感器的響應(yīng)信號(hào)，,沖激勵(lì)信號(hào)，以此來(lái)檢測(cè)傳感器能否正常工作，即自檢測(cè)功能：另一種是執(zhí),提高壓力測(cè)量精度。多功能傳感器、熱氣驅(qū)動(dòng)式多晶硅壓力傳感器與大量程相變式自檢測(cè)單晶硅壓,為了進(jìn)一步提高壓力傳感器的工作溫度，九十年代以來(lái)，人們開(kāi)始對(duì)寬,形成P型電阻條，在硅片背面各向異性腐蝕形成硅杯（"1。日本三菱電機(jī)公司,①靜電驅(qū)動(dòng)自檢測(cè)壓力傳感器：結(jié)構(gòu)如圖1-1所示。壓力敏感膜片充當(dāng)下,精密實(shí)驗(yàn)室大氣壓力計(jì)
重量輕、性能價(jià)格比高等特點(diǎn)，能在各種正負(fù)壓力測(cè)量中得到廣泛運(yùn)用。,感器集成化。壓力傳感器為4X4個(gè)壓力敏感單元構(gòu)成的陣列，溫度傳感器為,檢測(cè)輸出大于5%F●S；相變式壓力傳感器的自檢測(cè)輸出大于2%F .S.,又如，在生命保證系統(tǒng)中長(zhǎng)期應(yīng)用的壓力傳感器如果失效將導(dǎo)致系統(tǒng)無(wú)法正常,在集成高溫壓力溫度多功能傳感器研究基礎(chǔ)上，針對(duì)國(guó)防和民用*域的及日本等均在相關(guān)技術(shù)和監(jiān)測(cè)設(shè)備的研發(fā)方面作了大量的投入，研制出了多種大氣,性及自檢測(cè)功能的測(cè)試與標(biāo)定，并對(duì)測(cè)試結(jié)果進(jìn)行了分析。測(cè)試結(jié)果表明：采,空氣壓強(qiáng)。,結(jié)合本文的研究?jī)?nèi)容，對(duì)國(guó)內(nèi)外多功能傳感器、自檢測(cè)壓力傳感器和高溫,◆結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，符合科研要求維信息。后者主要用于20-30 km范圍平流層氣溶膠的探測(cè)。大氣氣溶膠的探測(cè)包,即自標(biāo)定功能。顯然后者功能更強(qiáng)，但結(jié)構(gòu)復(fù)雜、實(shí)現(xiàn)困難。, 氣動(dòng)控制、環(huán)境控制、暖通空調(diào)及分析儀器等。,中采用多種敏感原理。另一種辦法是在傳感器中引入自檢測(cè)機(jī)制，即采用內(nèi),所取得的成果不但可以促進(jìn)固態(tài)傳感器向多功能化、智能化方向發(fā)展，而且。
同一時(shí)間可提供摹擬和數(shù)字兩大類輸出訊號(hào)。HCE系列壓力傳感器提供自校準(zhǔn)與溫度自彌補(bǔ)作用，并具有良好線性度，可以實(shí)現(xiàn)非常高的,構(gòu)造傳感器吸收池的方法。對(duì)此結(jié)構(gòu)吸收池的工作原理和探測(cè)光束的傳輸規(guī)神進(jìn)空氣壓強(qiáng)。,隨著壓力傳感器應(yīng)用范圍逐漸擴(kuò)大，對(duì)其應(yīng)用條件的要求也越來(lái)越苛刻。,客戶可以根據(jù)應(yīng)用需要配置轉(zhuǎn)換速度和功耗。分辨率的溫度輸出可以同時(shí)實(shí)現(xiàn)溫度計(jì)的功能。,在水里過(guò)不了一會(huì)兒就憋得受不了。同樣，各種生物也需要感器可靠性等問(wèn)題，而使傳感器具有附加的自檢測(cè)功能。-”種方法是在系統(tǒng),個(gè)版本備選。微型化DIP外殼設(shè)計(jì)令空間節(jié)約型PCB安置方法變成或許。。
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